◆性能特點(diǎn):
激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強(qiáng)。
精密探針定位裝置,激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡便。
單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式,保護(hù)探針及樣品。
自動(dòng)光學(xué)定位,無需調(diào)焦,實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式,簡單實(shí)用,防震效果好。
金屬屏蔽隔音箱,內(nèi)置高精度溫濕度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作環(huán)境。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。
◆測(cè)量范圍及應(yīng)用:
測(cè)量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case